顯影液 利用鹼性顯影液將光阻(PR, Photo Resist)經曝光後形成的有機酸中和、剝落，留下未反應的光阻圖案。 TMAH (氫氧化四甲基銨) NaOH (氫氧化鈉) KOH (氫氧化鉀) 蝕刻液 *蝕刻未受光阻保護的金屬，留下受光阻保護的金屬線路圖。 *不同的金屬，會使用不同的蝕刻液來做蝕刻。 Al etchant (鋁蝕刻液) Mo etchant (鉬蝕刻液) Cu etchant (銅蝕刻液) H3PO4 (磷酸) HNO3 (硝酸) H2SO4 (硫酸) HAc (醋酸) HF (氫氟酸) 草酸水溶液 ITO Etchant (ITO蝕刻液) MAE (混酸蝕刻液) 氯化鐵溶液 HCL鹽酸 EMN(鉬蝕刻液) 光阻剝離劑 DMSO (二甲基亞碸) BDG (二乙二醇單丁醚) MEA (單乙醇胺) NMP (氮-甲基四氫吡咯酮) Cu Stripper 三乙醇胺 二甲基乙醯胺 光阻剝離劑(BM-37) 光阻剝離劑(BM-73) 光阻剝離劑(MD-73) 光阻剝離劑(BT-53) 光阻剝離劑(SF-D20) 光阻剝離劑(SF-M15) 光阻剝離劑(SBM-31) 光阻剝離劑(Stripper-10) 光阻剝離劑(ST-02) 光阻剝離劑(SDN-64) 光阻剝離劑(SNT-35) 光阻稀釋劑與洗邊劑 稀釋光阻或清洗光阻。 光阻稀釋劑 PGME (丙二醇單甲醚) PGMEA (丙二醇單甲醚醋酸酯) Anone (環已酮) CPN (環戊酮) 光阻清洗劑 乙酸正丁酯 苯甲醇 乙二醇 鹼性玻璃清洗劑(GDS-155) 清洗劑 彩色濾光片再生劑 彩色濾光片生產中不良品之玻璃再生清洗用 彩色濾光片再生劑 其他 NH4OH (氨水) H2O2 (雙氧水) 三氯氧磷 三氯氧磷(POCl3) 一氧化二氮 一氧化二氮(N2O)