顯影劑廢液回收

顯影劑廢液回收

廢液回收

氫氧化四甲基銨TMAH是電子業微影製程必需的顯影液,因具生物急毒性,若無妥善處理,對生態環境將造成重大衝擊。因此,三福自行研發技術,將客戶使用後的TMAH廢液回收再使用,透過樹脂回收、純化與電透析,再製成TMAH與硫酸重新供客戶循環再用。
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